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定义-微机电系统（MEMS）是什么意思？
微机电系统（MEMS）是由电驱动的微型机械模块。 NEMS将计算机与机械模块（如传感器，致动器和后视镜）合并。 它们是使用修改后的器件制造技术的经济高效的系统。
MEMS具有多种用途，并且利用各种组件，小型化和新标准的集成机电系统，可以采用多种制造设计方法。 MEMS可用于湿法刻蚀，例如氢氧化钾（KOA），干法刻蚀，例如深反应离子刻蚀（DRIE），成型和电镀，放电机械（EDM）以及其他生产小型设备的技术。
微机电系统也可以称为微电子系统，微机械，微系统技术或智能物质。
Techopedia解释了微机电系统（MEMS）
MEMS的宽度可能小于人的头发的宽度，并且可能包含以下几个组件：
- 微传感器
- 微执行器
- 微处理器
- 中央数据处理单元
- 与外部元素交互的组件
MEMS具有较大的表面积与体积之比，并使用硅制造技术构造。
MEMS器件包括微电路，该微电路被放置在与机械部件一起使用的小硅芯片上。 该技术支持各种各样的设备，这些设备可以控制，感测或激活机械过程，同时可以作为阵列或单独发挥作用。
目前，MEMS在其架构中包含了一个独特的微传感器或微按摩器，但未来可能会出现更复杂的同化水平。 下一步的发展可能是将许多单独的功能整合到一个系统中。
