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定义-垂直金属氧化物半导体(VMOS)是什么意思?
垂直金属氧化物半导体(VMOS)是一种金属氧化物半导体(MOS)晶体管,因V形凹槽而得名,该凹槽在垂直方向切入基板以用作晶体管的栅极,从而可以传输从源极流向器件“漏极”的电流量更大。
垂直金属氧化物半导体也称为V槽MOS。
Techopedia解释了垂直金属氧化物半导体(VMOS)
垂直金属氧化物半导体是通过在硅中形成四个不同的扩散层,然后在整个中间层中以精确控制的深度垂直蚀刻中间的V形凹槽来构造的。 然后通过在沟槽中的二氧化硅上沉积通常是氮化镓(GaN)的金属,在V形沟槽内形成栅电极。
在引入更好的几何形状(例如UMOS或沟槽栅MOS)之前,VMOS一直主要用作“间隙”功率器件,这会在顶部产生较低的电场,从而导致最高电压高于采用VMOS可能产生的电压。 VMOS晶体管。
